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产物展现
ZZS系列箱式真空镀膜机
  • 用处及特色
  • 规格参数
    简 介
     
    成都南光机械无限公司ZZS系列箱式真空镀膜机,颠末四十多年的成长,构成了真空镀膜室尺寸从350毫米到3600毫米的箱式真空镀膜机系列产物。普遍利用于企业、科研院所、大专院校的科研和量产化出产范畴,是镀制多层光学薄膜、电学薄膜的抱负装备。
     
    产物特色

    ●接纳箱式布局,真空体系后置,便于操纵和维修;零件外表平坦,便利洁净,出格合适安排在污染间内做穿墙式装置。

    ●装备真空体系抽速大,具备抽气时候短,真空度高,出产周期短等长处。

    ●接纳管状加热器上烘烤,烘烤温度平均,寿命长,可到达******烘烤温度350℃,烘烤平均性270℃±10℃。

    ●工件动弹接纳上部中间驱动,轴承带水冷,磁流体密封,动弹安稳******。

    ●接纳石英晶体膜厚节制仪,可完成镀膜进程的主动节制。

    ●接纳******的镀膜节制体系,人机操纵界面雅观合用,体系不变******,可完成体系的手动、半主动和全主动操纵。
     
    合用规模
     
    ●用于出产IR-CUT滤光片、分色滤光片、高反射膜、AR膜、长波通、短波通和多种电学薄膜
     
    经常使用规范设置装备摆设
     
    ●以下表格内容为我公司五种经常使用规范机型的设置装备摆设及目标,多年来我公司前后开辟了350、450、500、550、630、700、800、900、1100、1250、1300、1500、1800、2200、2500、3600尺寸系列的箱式真空镀膜机。为知足泛博用户的差别需要,我公司可接管多种情势的真空镀膜机的定制请求,包含对真空室体尺寸、真空体系设置装备摆设、工件夹具体系、工件烘烤体系、膜厚监控体系、蒸起源体系、充气体系、离子源体系和电气节制体系的特别定制。
    ZZS系列箱式真空镀膜机
    Series ZZS Box-type Vacuum Coating Machine
     
    经常使用规范设置装备摆设表
    Standard configurations for common use
    型  号
    Model
    ZZS600 ZZS700 ZZS800 ZZS900 ZZS1100 ZZS1300 ZZS1800
    真空室尺寸(直径×高)
    Size of the vacuum chamber (diameter× height)
    Φ600×750 Φ710×850 Φ800×900 Φ900×1000 Φ1100×1300 Φ1300×1300 Φ1800×2000
    极限真空度
    Ultimate vacuum degree
    ≤3.0×10-4Pa
    规复真空时候
    Time for vacuum recovery
    4.0×10-3Pa≤15min
    抽气体系
    Pumping system
    分散泵 Diffusion pump K-400 TK-500
     K-600 
    K-630 TK-500×2 K-630×2 K-800×2
    罗茨泵 Roots pump       ZJP-150 ZJP-300 ZJP-300 ZJP-1200
    机械泵 Mechanical pump 2X-30 2X-70 2X-70 2X-70 2X-70 2X-70 2X-70,H-150×2
    真空丈量体系
    Vacuum measuring system
    配三路数字复合真空计,两路低真空,一起高真空
    Three-way digital compound vacuum gauge, two ways of low vacuum and one of high vacuum
    操纵体例
    Operation mode
    手动/主动
    Manual/automatic
    工件夹具
    Work piece holder
    Φ600 Φ640 Φ750 Φ840 Φ1040 Φ1240 Φ1720
    工件烘烤体系
    Work piece baking system
    上烘烤,铠装管状加热器加热,******温度350℃,PID主动控温及显现
    Up baking; heated by sheathed tubular heating element; maximum temperature 350℃; PID automatic temperature control and display.
    蒸起源
    Evaporation source
     
    电阻蒸起源
    Resistance evaporation source
    电阻蒸起源功率4KW(8V、600A)
    Power of the resistance evaporation source: 4KW (8V, 600A)
    电子束蒸起源
    Electron beam evaporation source
     
    E型电子束蒸起源,功率6~10KW
    Power of E-type electron beam evaporation source: 6-10KW
    膜厚监控体系
    Monitoring system on depth of films
    光学膜厚监控,波长规模380-800nm,9透反射光路,六位电动比拟片带显现;石英晶体膜厚监控,美国SQC-310、IC/6
    The optical film thickness monitor, a wavelength range of 380-800nm, 9transflective optical path, six electric comparison sheet with display; quartz crystal thickness monitoring, the United States SQC-310, IC / 6
    充气体系 charge systems 主动压强仪2~510-2Pa
    Automatic pressure instrument
    品质流量计:单路单显,双路双显
    Mass flow meter: one way one display, dual way dual display
    离子帮助(选配)
    Ion-assisted (optional)
    H6霍尔离子源、H10霍尔离子源、Φ12cm考夫曼离子源、Φ16cm考夫曼离子源
    H6 Hall ion source, H10 Hall ion source, Φ12cm Kaufman ion source, Φ16cm Kaufman ion source
    深冷捕集器(选配)
    Cryogenic trap (optional)
    国产12P、国产15P、入口POLYCOLD550、入口POLYCOLD670
    Domestic 12P, 15P, POLYCOLD 550, POLYCOLD 670
     
    能源需要
    Power demand
    冷却水
    Cooling water
    压力温度
    Pressure and temperature
    压力:0.25~0.35MPa;温度≤25℃
    Pressure: 0.25-0.35MPa; temperature ≤25℃
    流量
    Flow rate
    ≥50L/min ≥60L/min ≥80L/min ≥100L/min ≥140L/min ≥160L/min ≥180L/min
    紧缩氛围
    Compressed air
    压力:0.5~0.7MPa
    Pressure: 0.5-0.7MPa
    ******耗损电力
    Maximum power consumption
    ~25KW ~35KW ~40KW ~45KW ~50KW ~60KW ~120KW
    装备形状尺寸(宽×深×高)
    Overall dimension (width×depth×height)
    2100×1800×2000 3350×2600×2370 3580×3000×2450 3870×3600×2670 3870×3600×2670 3900×4050×2950 4400×4000×3600
    装备总重(KG)
    Gross weight (Kg)
     
    约1500
    About 1,500
    约2000
    About 2,000
    约2500
    About 2,500
    约3000
    About 3,000
    约3000
    About 3,000
    约4000
    About 4,000
    约6000
    About 4,000
     
     
     

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