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立式氢气炉手艺参数表格
  • 用处及特色
  • 规格参数
     产物利用
     
    本装备供光电成像器件中零部件、坡莫合金和各类电真空器件在真空中退火、焊接、除气、及外表污染处置用。
         型号    
          Mode    
           手艺参数  
      Technical Data   
    L1113Ⅱ-1 L1112Ⅱ-1(无油) L1122Ⅱ-1
    ******加热温度(空炉 )Max.Heating Temperature(no-load) 1300℃ 1200℃ 2200℃
    额外任务温度
    Rated Working Temperature
    1200℃ 1100℃ 2100℃
    加热体例
    Heating Mode
    钨杆组(一段加热)Tungsten Rods 钨杆组(一段加热)Tungsten Rods 钽皮
    Tantalum sheet
    炉温平均性
    Furnace Temperature Uniformity
    ±5℃ ±5℃ ±5℃
    炉膛尺寸
    Furnace Chamber Dimension
    Φ200×300 mm Φ200×300 mm Φ75×200 mm
    控温精度
    Temperature Control Precision
    ±1℃ ±1℃ ±1℃
    空载室温到任务温度时候
    From Room Temperature to working temperature
    < 40Min < 40Min < 40Min(2100℃)
    真空体系
    Vacuum System
    分散泵体系
    Diffusion Pump System
    份子泵体系
    Turbo Pump System
    份子泵体系
    Turbo Pump System
    极限真空(空炉)
    Ultimate Pressure(no-load)
    5×10-3Pa 7×10-4Pa 1.3×10-5Pa
    任务真空度
    Working Vacuum
    5×10-2Pa 7×10-3Pa 5×10-4Pa
    压升率
    Pressure Rise Rate
    0.67 Pa/h 0.5 Pa/h 0.67 Pa/h
    冷却水压
    Cooling Water Pressure
    0.2 M Pa~ 0.3 M Pa 0.2 M Pa~ 0.3 M Pa 0.2 M Pa~ 0.3 M Pa
    总分量
    Total Weight
    1800Kg 1800 Kg 1800 Kg
    装备总功率
    Total Power
    30 KW 22 KW 30 KW


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